9.2 供暖、通风与废气处理

9.2.1 供暖设计应符合现行国家标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019的有关规定。

9.2.2 洁净室内不应采用散热器供暖。

9.2.3 严寒地区和寒冷地区各动力站房应根据工艺要求设置值班供暖。

9.2.4 洁净室内产生粉尘和有毒有害气体的工艺设备和辅助工艺设备均应设局部排风装置，排风罩宜为密闭式。

9.2.5 排风系统的设计应符合下列规定：

1 化学气相沉积设备的尾气应设尾气处理设备，且粉尘去除率不应低于99%；

2 含有酸、碱废气的排风系统应独立设置，风机应设置应急电源；

3 工艺设备的排风系统应根据工艺要求设置备用风机；

4 有冷凝液产生的排风系统风管应设置坡度和排液口，且风管系统应采取防液体渗漏措施；

5 化学气相沉积设备的排风系统应采取防火、防爆措施；

6 酸、碱、有毒排风系统不应设置熔片式防火阀；

7 酸、碱排风系统的风机应设置在废气处理设备的气流下游侧；

8 排风系统的室外风管应根据当地气象条件采取防结露保温措施；

9 洁净室的排风系统应采取防止室外气流倒灌的措施。

9.2.6 废气处理系统的设计应符合下列规定：

1 酸、碱废气不宜采用固定床吸附剂方式处理；

2 酸、碱废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层数、厚度和喷淋药液循环量应经计算确定；处理设备的加药、补水、排污和液位控制应采用自动方式；处理设备的日用液箱应就近设置；

3 废气处理设备并联运行时，应在每台设备的入口设置电动或气动密闭风阀。该风阀在工作压力下的泄漏率不应大于1%，且应与对应的废气处理设备联锁；

4 严寒地区或寒冷地区的淋洗式废气处理装置宜布置在室内，当布置在室外时应采取防冻措施。

9.2.7 酸、碱、有毒废气经处理后应通过排气筒排入大气，处理后废气的排放浓度、排放速率及排气筒高度应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标准》GB16297的有关规定，排气筒出口处风速宜为15m/s~20m/s。

9.2.8 化学气相沉积设备区域及对应吊顶空间内应设置不低于2次/h的排风系统。

9.2.9 化学气相沉积设备尾气处理设备间应设置不低于12次/h的事故排风系统。

9.2.10 换鞋间应设置不低于10次/h的全室排风系统，一次更衣间宜设置不低于5次/h的全室排风系统。排风系统设计应符合下列规定：

1 宜从下部区域排出总排风量的2/3，上部区域排出总排风量的1/3；

2 换鞋柜宜设置局部排风措施。

条文说明

9.2.8 化学气相沉积（PECVD）设备使用较大量的氢气及硅烷气体，但通常是在高真空下使用，正常情况下氢气和硅烷气体不会逸出。该设备区域设置常排风措施，是为了防止氢气供应系统及使用氢气的设备发生意外泄漏时出现氢气积聚，从而引发爆炸隐患。

9.2.9 本条是强制性条文，必须严格执行。化学气相沉积（PECVD）设备附设的尾气处理设备由于其处理的氢气和硅烷处于常压状态，在该设备间设置不低于12次/h的事故排风可以防止因尾气处理设备发生故障或输送尾气的管路发生泄漏造成的氢气和硅烷气体积聚，避免引发火灾或爆炸事故。

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